顕微レーザーラマン分光装置は、FT-IRと同様に異物の同定や物質の構造解析をする装置でありながら、最小分析径は1ミクロンです。FT-IRに比べ、より小さな異物の分析が可能であり、試料の薄片化などの前処理も必要ないため、非破壊での分析が可能です。また、FT-IRでは難しい無機化合物の分析が可能であり、物質の同定をはじめ、結晶形や6価クロム、3価クロムなどの価数の違いなども容易に判別することができます。

顕微レーザーラマン分光装置の原理
物質に単一の振動数をもつレーザー光を照射し、入射方向と異なる方向に散乱されてくる光を分光器を通して観測すると2種類の光が観測されます。一方は入射光と同じ振動数の光で、これをレーリー散乱と呼びます。もう一方の光は入射光と異なる振動数の光で、これをラマン散乱と呼びます。このラマン散乱光は分子・結晶の振動モードにより固有であることから、これを分光器によって調べることにより、分子構造や結晶構造情報を得ることができます。この分析法が顕微鏡と融合し、極めて局所的な部分の成分分析や結晶状態などを知ることができるようになったものが、顕微レーザーラマン分光装置です。顕微レーザーラマン分光装置の構成図を図１に示します。装置は固体レーザー光源(波長532nm及び785nmのレーザーを搭載)、顕微鏡、高性能レーリー散乱光除去フィルタ、分光器、高感度CCD検出器で構成されています。試料室は広範囲なサンプル形状に対応可能な大型試料室を採用しており、自動ステージによるXYZマッピング測定に対応できるようになっています。