CP(Cross Section Polisher)はイオンビームを用い、平滑で加工歪やだれの無い、清浄な試料断面を作製することのできる装置です。加速したアルゴン(Ar)イオン粒子を試料に照射し、原子や分子が弾き出されるスパッタリング現象を利用して、応力をかけずに試料を切削します。