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高性能X線光電子分光装置(ESCA)

 最表面から20Å程度の極表面の元素の定性分析及び定量分析、更に検出された元素が金属なのか酸化物なのかといった化学状態解析(結合状態や化学構造の情報)が行えます。
 また、アルゴン(Ar)イオンエッチングにより、50~1000Åオーダーの深さ方向分析が可能です。はんだの濡れ不良や印刷不良、めっきの密着不良等の際の臨界面の調査、あるいは材料の変色原因調査等に極めて有効な分析装置です。

  esca  

 


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